關于離子鍍膜機的功能特性

　　關于離子鍍膜機的功能特性

　　離子鍍膜機的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論，點燃真空電弧后，陰極靶材表面上出現一些不連續、大小和形狀多樣、明亮的斑點,它們在陰極表面迅速地做不規則的游動,一些斑點熄滅時又有些斑點在其他部位形成，維持電弧的燃燒。陰極斑點的電流密度達104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度發射金屬蒸氣，其中每發射10個電子就可發射1個金屬原子,然后這些原子再被電離成能量很高的正離子(如Ti+),正離子在真空室內運行時與其他離子結合(如與N-形成TiN)，沉積在工件表面形成涂層。

　　離子鍍膜機過程的突出特點在于它能產生由高度離化的被蒸發材料組成的等離子體，其中離子具有很高的動能。蒸發、離化、加速都集中在陰極斑點及其附近很小的區域內。

　　其中最顯著的特點是從陰極直接產生等離子體，離化率高，一般可達60%～80%，入射粒子能量高，涂層的致密度高，強度和耐久性好。

　　離子鍍膜機的沉積速度快，繞鍍性好，設備較為簡單，采用低電壓電源工作比較安全。一弧多用，電弧既是蒸發源和離化源，又是加熱源和離子濺射清洗的離子源。