離子鍍的工藝原理有哪些
2018-08-02 來自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1536
離子鍍的工藝原理有哪些
對(duì)于我們的離子鍍,其是真空鍍膜工藝的一項(xiàng)新發(fā)展,普通真空鍍膜(亦稱真空蒸鍍)時(shí),工件夾固在真空罩內(nèi),當(dāng)高溫蒸發(fā)源通電加熱后,促使待鍍材料——蒸發(fā)料熔化蒸發(fā)。
由于溫升,蒸發(fā)料粒子獲得一定動(dòng)離子鍍能,則沿著視線方向徐徐上升,最后附著于工件表面上堆積成膜。用這種工藝形成的鍍層,與零件表面既無牢固的化學(xué)結(jié)合,有無擴(kuò)散連接,附著性能很差,有時(shí)就像桌面上落的灰塵一樣,用手一摸也會(huì)擦掉。
然而,離子鍍工藝則有所不同,雖然也是在真空罩內(nèi)進(jìn)行的,但這時(shí)鍍膜過程是以電荷傳遞的形式來實(shí)現(xiàn)的。也就是說,蒸發(fā)料的粒子作為帶正電荷的高能離子在高壓陰極(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。相當(dāng)于一個(gè)從射出的高速?gòu)楊^,可以穿入基體很深,在工件上形成一種附著牢固的擴(kuò)散鍍層。離子鍍的作用過程如下:蒸發(fā)源接陽(yáng)極,工件接陰極,當(dāng)通以三至五千伏高壓直流電以后,蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生弧光放電。
由于真空罩內(nèi)充有惰性氬氣,在放電電場(chǎng)作用下部分氬氣被電離,從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負(fù)高壓的吸引,猛烈地轟擊工件表面,致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出,從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后,接通蒸發(fā)源交流電源,蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā),進(jìn)入輝光放電區(qū)并被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子,在陰極吸引下,隨同氬離子一同沖向工件,當(dāng)拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時(shí),則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。這就是離子鍍的簡(jiǎn)單作用過程。